Obiettivi formativi
Nel corso lo studente acquisisce la capacità di utilizzare alcune delle tecniche fondamentali di misura per la caratterizzazione di strutture epitassiali di materiali semiconduttori, oppure di interpretare i risultati provenienti da tali indagini.
Prerequisiti
<br />Laurea triennale in Fisica o in Scienza dei Materiali e nozioni di Fisica dello Stato Solido, di Fisica dei Semiconduttori e di Tecnologie di Crescita Cristallina di Materiali Semiconduttori.
Contenuti dell'insegnamento
<br /> Il Programma si svolge attorno le seguenti esperienze fondamentali di laboratorio.<br /> a) Diffrazione X e problematica dell'adattamento reticolare in eterostrutture epitassiali;<br /> b) Tecniche di misure elettriche: preparazione dei contatti elettrici,misure corrente tensione (J/V), misure Capacitive C/V, DLTS, conducibilità ed effetto Hall a bassi campi e ad alti campi magnetici (cenni);<br /> c) Tecniche di spettroscopia ottica: dispersiva (assorbimento, fotoconducibilità, fotoluminescenza) e a trasformata di Fourier (fotoluminescenza).<br /> Per ognuna delle suddette esperienze sarà effettuata una introduzione teorica in cui si definiscono in modo puntuale le funzioni dell’apparato sperimentale, la sua messa a punto, le principali caratteristiche degli strumenti che lo compongono.<br />Si effettuerà poi la scelta del campione da misurare in base al tipo di misura e ai risultati attesi, da correlare con quelli ottenuti da altre misure sul medesimo campione. I campioni scelti saranno preparati con apposite tecnologie per la misura (attacchi chimici, metodi fotolitografici, metallizzazioni ecc.). Andrà inoltre determinato il modo migliore per il montaggio del campione nell’apparato sperimentale. Infine, i dati raccolti dalla misura saranno elaborati e i risultati saranno analizzati ed interpretati.
Programma esteso
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Bibliografia
- Dieter K.Schroder “ Semiconductor material and device characterization”<br />- L.Tarricone”Proprietà ottiche e fotoelettroniche dei semiconduttori” (Fisica, Tecnologia e applicazioni dei semiconduttori composti) lezioni della Scuola Nazionale Piano Mia-Murst Tema n°17<br />- A.Parisini “Trasporto elettrico a bassi e alti campi in semiconduttori” ” (Fisica, Tecnologia e applicazioni dei semiconduttori composti) lezioni della Scuola Nazionale Piano Mia-Murst Tema n°17<br />- C. Ghezzi “appunti delle lezioni di Fisica dei semiconduttori”<br />- M.Wolf, N. Holonyak, G.E. Stillman “Physical properties of semiconductors” Prentice Hall International Editions
Metodi didattici
Colloquio finale
Modalità verifica apprendimento
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Altre informazioni
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