TECNOLOGIE MICROELETTRONICHE
cod. 14713

Anno accademico 2007/08
2° anno di corso - Primo semestre
Docente
Settore scientifico disciplinare
Elettronica (ING-INF/01)
Field
Ambito aggregato per crediti di sede
Tipologia attività formativa
Attività specifiche della sede
45 ore
di attività frontali
5 crediti
sede:
insegnamento
in - - -

Obiettivi formativi

Il corso intende fornire allo studente le principali nozioni sulle tecnologie di fabbricazione dei circuiti integrati VLSI.

Prerequisiti

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Contenuti dell'insegnamento

<br />- Processo planare del silicio;<br />- Fabbricazione del silicio monocristallino;<br />- Fotolitografia;<br />- Ossidazione;<br />- Drogaggio per diffusione termica e impiantazione ionica<br />- Deposizione, epitassia<br />- Attacchi<br />- Metallizzazioni e interconnessioni<br />- Problemi di “packaging”<br />

Programma esteso

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Bibliografia

<br />S.M. SZE: ' VLSI Technology ', McGraw-Hill, 1988<br />G. SONCINI: ' Tecnologie Microelettroniche ', Boringhieri, 1986

Metodi didattici

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Modalità verifica apprendimento

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Altre informazioni

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