TECNOLOGIE ELETTRONICHE
cod. 1002550

Anno accademico 2009/10
1° anno di corso - Primo semestre
Docente
Settore scientifico disciplinare
Elettronica (ING-INF/01)
Field
A scelta dello studente
Tipologia attività formativa
A scelta dello studente
48 ore
di attività frontali
6 crediti
sede:
insegnamento
in - - -

Obiettivi formativi

Il corso intende fornire allo studente le principali nozioni sulle tecnologie di fabbricazione dei circuiti integrati VLSI.

Prerequisiti

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Contenuti dell'insegnamento

<p>- Fabbricazione del silicio monocristallino; <br />
- Processo planare del silicio; <br />
- Fotolitografia; <br />
- Ossidazione; <br />
- Drogaggio per diffusione termica e impiantazione ionica <br />
- Deposizione, epitassia <br />
- Attacchi <br />
- Metallizzazioni e interconnessioni <br />
- Problemi di “packaging” <br />
- Tecnologia e principi di funzionamento di alcuni dispositivi a semiconduttori composti.<br />
<br />
</p>

Programma esteso

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Bibliografia

<br />S.M. SZE: ' VLSI Technology ', McGraw-Hill, 1988<br />G. SONCINI: ' Tecnologie Microelettroniche ', Boringhieri, 1986

Metodi didattici

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Modalità verifica apprendimento

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Altre informazioni

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