Obiettivi formativi
Il corso intende fornire allo studente le principali nozioni sulle tecnologie di fabbricazione dei circuiti integrati VLSI.
Prerequisiti
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Contenuti dell'insegnamento
<p>- Fabbricazione del silicio monocristallino; <br />
- Processo planare del silicio; <br />
- Fotolitografia; <br />
- Ossidazione; <br />
- Drogaggio per diffusione termica e impiantazione ionica <br />
- Deposizione, epitassia <br />
- Attacchi <br />
- Metallizzazioni e interconnessioni <br />
- Problemi di “packaging” <br />
- Tecnologia e principi di funzionamento di alcuni dispositivi a semiconduttori composti.<br />
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Programma esteso
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Bibliografia
<br />S.M. SZE: ' VLSI Technology ', McGraw-Hill, 1988<br />G. SONCINI: ' Tecnologie Microelettroniche ', Boringhieri, 1986
Metodi didattici
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Modalità verifica apprendimento
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Altre informazioni
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